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一次安装能够同时测量线性轴的六个误差,包括1个位置度误差、2个直线度误差、3个角度误差。
1D激光主要可以测量定位误差
3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)
5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角
5D/6D标准型:
1. 线性:0.5ppm .
2. 测量范围:40米(1D可选80米)
3. 线性分辨力:0.001um.
4. 偏摆角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%显示较大值
5. 最大范围:800角秒
6. 滚动角精度:1.0角秒
7. 直线度精度:(1.0+0.2/m)um或1%显示较大值
8. 直线度最大范围:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 温度精度:0.2摄氏度
11.湿度精度:5%
12.压力精度:1mmHg
1. 同时测量线性定位误差、直线度误差(双轴)、偏摆角、俯仰角和滚动角
2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D于一体,简化了调整步骤,减少了调整时间
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